特點：
1.行程大，測量范圍更廣
2.自主開發QMS3D軟件，可滿足客戶不同測量需求
3.具有快速自動對焦、自動尋邊，強大的編程和自動測量功能
4.采用亞像素細分技術，提高邊界分辨能力
5.配置操縱手柄，亦可軟件程控
6.SPC數據處理分析，大批量治具測量
7.X、Y、Z三軸伺服控制，定位精度高速度快，運行平穩
8.采用自主開發的嵌入式模塊控制系統，將復雜的控制系統集成于儀器內部，穩定性更高
9.程控恒流驅動式八區表面冷光光源，可適應復雜的工件測量
10.X、Y向導軌采用高精度花崗石，具有高穩定性及剛性，不易變形
11.X、Y向移動的部份采用低摩擦，高速度，高精度的氣浮移動導向系統
12.采用同布帶或絲桿傳動，精度高，穩定性好
13.花崗石直線度和玻璃平面度好，花崗石導軌無摩擦、不磨損
14.可通過激光指示器尋找被測工件的具體位置，快速定位，方便快捷

技術規格參數:

型 號		VMS-6060H	VMS-6090H
工作臺	玻璃臺尺寸（mm）	640×770	640×1070
	運動行程(mm)	600×600	600×900
Z軸升降行程(mm)		150
示值誤差（μm）		E1XY=(2.5+L/200)
X、Y、Z數顯分辨率		0.5μm
影像系統		攝像機：1/2"彩色CCD攝像機
		變倍鏡頭倍率：0.7X～4.5X 視頻總倍率：20X ～128X
		物方視場：11.1mm～1.7mm
儀器外形尺寸(L×W×H)		1500×1300×1510	1800×1300×1510
儀器重量(Kg)		1281	1500
功率		1000W(不含電腦)
電源		AC 220V 50/60Hz
氣源壓力		≥0.5MPa
空氣流量		120L/min(0.4MPa)
溫度范圍		20±2℃ ,＜1℃/h ,＜2℃/24h ,＜1℃/m
濕度		55%～65%